特種氣體管道的施工采用全自動軌道焊接，同時制定和實施嚴格的超高純施工和QA/QC保證程序，對施工的質(zhì)量和程序進行嚴格的監(jiān)控和管理。最后整個系統(tǒng)還要進行氦檢漏、水分、氧分和顆粒度檢測、以及其他要求做的氣相雜質(zhì)的測試。
其現(xiàn)場基本的施工程序為：施工圖紙會審→施工組織編寫→預制間的搭設(shè)→施工機具的準備→施工人員的培訓→預制圖紙的編寫→管道的預制→管道的現(xiàn)場安裝→系統(tǒng)檢測→系統(tǒng)驗收。
一、預制間的選擇
特種氣體管道的施工對環(huán)境的要求比較高，管道施工采用大批量預制然后現(xiàn)場 安裝的方法。按照標準，預制作業(yè)需要在潔凈度達到百級的凈化間進行，作業(yè)人員也按照百級凈化間的管理著裝。因此對于大宗特氣項目，一般都建有一個標準的預制間。
但我們在實際的施工中,大宗特氣項目很少,一般都是簡單系統(tǒng)和常規(guī)系統(tǒng),為了節(jié)約成本和資金,在要求不是很高的情況下、一般采用在施工現(xiàn)場找一塊相對潔凈的房間采取一定的防塵措施就地施工，除作業(yè)人員和檢察人員外,應禁止無關(guān)人員出入。
如果業(yè)主要求比較嚴格，也采用彩鋼板搭設(shè)一個簡單的預制件，房間內(nèi)鋪上地板革，在屋中用潔凈塑料布封出一塊裝上兩臺層流罩，做一個簡單的凈化空間，進行管道的預制工作。
二、主要的施工機具
特種氣體管道的主要施工機具有:
全自動軌道焊機(D100、MIOO等)管道切割機（GF鋸）、管子割刀、平口機、彎管器、倒角器、管口毛刺修理刮刀、有的需要配置電源穩(wěn)壓器、防止施工現(xiàn)場電流波動對焊接質(zhì)量造成影響、臺虎鉗、配電箱、拖線盤、臺鉆、電鉆、沖擊鉆、切割機、電焊機、手工氬弧焊機、其他輔助工具。
三、施工管理和現(xiàn)場施工的幾個注意點
項目管理人員和施工人員都要進行施工安全和施工質(zhì)量的培訓,了解特種管道的施工作業(yè)要求和規(guī)范,了解特種氣體的基本知識,從而加深對特種管道施工質(zhì)量重要性的認識。
特氣管道一般采用小管道輸送，為了降低成本，管道采用直接用彎管器煨彎的方式，彎管器一般采用5-10倍的，但不小于5倍。因此對管道施工人員要進行各種角度下的彎管培訓，對焊工也必須進行焊接程序的培訓，熟悉各種焊接參數(shù)的調(diào)整，最后管工和焊工都必須經(jīng)過考試，由專門的質(zhì)量管理人員確認合格后，發(fā)給作業(yè)許可證后方可施工，這也是QA/QC保證程序的組成部分。也是施工程序中人員培訓的重點。
現(xiàn)場的質(zhì)量管理人員要做好材料的質(zhì)量檢查記錄和每天的施工質(zhì)量檢查記錄，包括管工彎管的質(zhì)量，尺寸是否準確，管道是否有劃傷，彎頭是不是壓得太扁；拆除包裝的管道，預制好的管道，管口是不是封好；（管道封口應套上管帽，再采用EP管完好的內(nèi)包裝袋割下15-20公分長套在管口折回后用潔凈膠帶纏好；如果沒有管帽，則采用套一層內(nèi)包裝袋用膠帶封好，然后外面再套一層，也用膠帶封好。）焊工的焊縫是否符合質(zhì)量要求，每個焊縫都必須仔細檢查，并作好焊接作業(yè)者和焊接數(shù)量記錄。
焊工每天在焊接前必須先作焊接試樣，經(jīng)檢查合格后方可進行焊接施工，每天的施工結(jié)束后還必須做一個末試樣，以確認今天的焊接作業(yè)是否存在焊接隱患。
每次電源變更的時候，都必須重新作試樣。焊接試樣要附上焊接參數(shù)。每天的焊接試樣要妥善保存。（焊縫質(zhì)量的檢查主要有焊縫的寬笮度、焊縫的內(nèi)外均勻度、焊縫的凹凸度、是否氧化、其他不允許的缺陷）
架設(shè)到管架上的管道，在焊接作業(yè)開始后就要采取不間斷充氣的方式，即從施工開始到施工結(jié)束管道內(nèi)都要處于沖氣保護的狀態(tài)，但在不進行焊接作業(yè)時可適當調(diào)小管內(nèi)氣壓。但對要求不是很高的施工，為了降低成本，每天的焊接結(jié)束后，把兩端用管帽和潔凈膠帶封死。在
這里要特別提出的是對輸送強腐蝕性氣體的耐腐蝕性強的VM管進行對接施焊時，其充氣時間必須要達到4-5分鐘，而且必須不間斷充氣。
四、系統(tǒng)檢測
特氣管道施工結(jié)束后都需要進行壓力檢測，氦檢漏，顆粒度和水分、氧分測試。壓力檢測一般采用比較精密的圓盤式壓力檢測儀或電子檢測儀，不用壓力表。這樣大大提高了檢測的精密度。
水、氧測試采用水氧分析儀；顆粒度測試目前基本采用激光顆粒測試儀，精度達到0.1微米；而對要求更高的采用核凝結(jié)技術(shù)（CNC）它可達到0.01微米。其它氣相雜質(zhì)的測試根據(jù)具體要求確定。
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