一、大宗氣體系統(tǒng)（CDA、GN?、GO?、GAr、GH?、GHe、CO?） 1、依據(jù)工藝機臺流量疊加+20%余量完成耗量計算，總流量偏差≤±3%；設計壓力等級0.6MPa、0.8MPa、1.6MPa三檔，末端壓力波動≤±0.02MPa。 2、設計空壓機+吸附干燥+催化干燥+0.01μm過濾器制取CDA，露點≤-70℃，殘油≤0.01mgm?³，顆?！?.1μm≤0.1pcs/m³；系統(tǒng)冗余N+1，自動切換時間≤30s。 3、設計低溫儲罐（GN?/GO?/GAr/GHe）、真空絕熱管道，日蒸發(fā)率≤0.15%；儲罐壓力0.4MPa，末端汽化器出口溫度15-25℃，汽化能力峰值≥1.5倍最大小時用量。 4、設計高壓GH?隔膜壓縮機，出口壓力45MPa，泄漏率≤1×10??Pa·m³s?¹；設置氮氣吹掃+雙截止泄放閥組，管道材質(zhì)316LEP級，內(nèi)表面粗糙度Ra≤0.25μm。 5、設置中央純化器：GN?純化后O?≤1ppb，H?O≤1ppb，顆?！?.05μm≤1pcs/m³；GO?純化后THC≤10ppb，H?O≤50ppb；純化器切換再生時間≤4h，旁路響應≤10s。 6、配置PLC+SCADA，實時監(jiān)測壓力、溫度、流量、露點、純度，數(shù)據(jù)刷新≤1s；高壓段設置氣體偵測器，報警≤10s，自動關斷閥關...
發(fā)布時間:
2025
-
12
-
17
瀏覽次數(shù)：11
一、系統(tǒng)設計與優(yōu)化 1、依據(jù)工藝需求完成潔凈室、一般生產(chǎn)區(qū)及辦公區(qū)全年空調(diào)負荷計算，冷負荷精度≤±5%，熱負荷≤±3%。 2、負責MAU、AHU、RCU、DCC、FFU及干冷盤管選型，確保潔凈度ISO14644-1Class3-8級、溫濕度控制精度±0.5 ℃/±3 %RH，斷面風速不均勻度≤10%。 3、編制一次、二次冷凍水、熱水、蒸汽、冷凝水系統(tǒng)流程圖及水力計算書，總流量偏差≤±2 %，最不利環(huán)路壓差≤額定揚程105%。 4、設計轉(zhuǎn)輪除濕、雙級熱泵熱回收、VFD變頻節(jié)能方案，使單位面積能耗≤0.85 kW·h/(m²·h)，PUE≤1.35。 5、采用BIM+CFD聯(lián)合建模，氣流組織可視化粒子滯留時間≤30s，優(yōu)化風口布置與換氣次數(shù)，降低40 %以上死區(qū)面積。二、 設備選型與采購支持 1、出具冷水機組、鍋爐、水泵、冷卻塔、風柜、板式熱交換器技術規(guī)格書，性能參數(shù)、接口尺寸、材質(zhì)、驗收標準一次性通過率≥98%。 2、主導FAT/SAT，冷水機組COP≥6.3、鍋爐熱效率≥98%、水泵效率≥85%，噪聲≤75 dB(A)@1 m；記錄歸檔并關閉全部NCR。 3、 建立關鍵零部件品牌白名單，過濾器EN1822 H13/U15效率≥99.95%，確保與項目QA/QC要求一致。三、 安裝與調(diào)試管...
發(fā)布時間:
2025
-
12
-
16
瀏覽次數(shù)：11
一、供配電系統(tǒng)設計 1、依據(jù)工藝負荷清單完成全廠用電需求計算，總負荷精度≤±3%，同時系數(shù)、需用系數(shù)選取符合GB50052、GB50054及晶圓廠SEMIS2要求。 2、負責高壓（35kV/20kV/10kV）、低壓（400V）主接線圖、單線圖設計，短路電流計算誤差≤±5%，開關設備動熱穩(wěn)定校驗系數(shù)≥1.3。 3、選型變壓器、柴油發(fā)電機、UPS、HV/LV開關柜、母線槽，出具技術規(guī)格書：變壓器負載損耗≤6kW、空載損耗≤1.2kW，UPS效率≥96%，并機均流不平衡度≤±2%。 4、設計弧光保護、差動保護、接地保護（TN-S系統(tǒng)PE與N獨立），接地電阻≤1Ω，重復接地電阻≤4Ω；弧光故障切除時間≤100ms。 5、完成諧波計算與治理方案，THDi≤5%，功率因數(shù)≥0.95；配置有源濾波器APF容量冗余20%，諧振頻率避開3、5、7次。二、不間斷電源與應急系統(tǒng) 1、按工藝斷電視可接受時間（0ms、5ms、200ms）分級供電：IT化機臺采用2NUPS架構(gòu)，單機帶載率≤45%；潔凈室照明采用E-Bus集中直流母線，切換時間≤3ms。 2、柴油發(fā)電機N+1冗余，10s內(nèi)自動啟動，儲油量滿足滿負荷運行≥8h；出具黑啟動驗證方案，每年空載+帶載演練≥2次。 3、電池管理：閥控鉛酸/鋰電系統(tǒng)月度內(nèi)阻測試偏差≤±5%，溫度補償系數(shù)-3mV/℃·c...
發(fā)布時間:
2025
-
12
-
15
瀏覽次數(shù)：13
一、凈化空調(diào)系統(tǒng)的設置方式潔凈廠房中的凈化空調(diào)系統(tǒng)有集中設置方式和分散設置方式。集中設置方式是將空氣處理機組(AHU)集中設在空調(diào)機房內(nèi),在空調(diào)機組內(nèi)集中進行初效、中效或亞高效空氣過濾凈化和熱、濕處理,然后由送風管道輸送至潔凈室的吊頂上部,經(jīng)過設在潔凈室頂棚上的末端高效空氣過濾器或高效過濾器送風口進行終端凈化送入潔凈室,實現(xiàn)產(chǎn)品生產(chǎn)工藝對潔凈度、溫度、相對濕度和壓力的要求。潔凈室回風經(jīng)回風口、回風管再返回至空調(diào)機房的空調(diào)機組內(nèi)與新風混合,重復進行熱、濕處理和凈化處理。這類集中式系統(tǒng)可有全新風 (直流系統(tǒng))方式,一次回風方式和一、二次回風方式以及MAU+RAU方式等。為了節(jié)能、消除空氣熱濕處理過程中的冷熱相互抵消,當潔凈送風量大于消除熱、濕負荷的空調(diào)送風量時,最好采用一、二次回風系統(tǒng),將二次混合點設計在系統(tǒng)送風點上,這是節(jié)能、經(jīng)濟的凈化空調(diào)系統(tǒng)。當多個潔凈室的潔凈度,溫、濕度要求不同,各潔凈室內(nèi)的產(chǎn)熱量和產(chǎn)濕量也不盡相近時,為了確保每個潔凈室的潔凈度,溫、濕度及其精度的要求應設置多個循環(huán)機組 (RAU);循環(huán)機組的送風量是凈化送風量,并且在機組內(nèi)設置必要的熱、濕處理設備,用來補充新風機組熱、濕處理的不足和保證潔凈室溫、濕度精度的微調(diào)節(jié)。由于循環(huán)機組設在潔凈室的吊頂上面,循環(huán)機組的送風余壓相對都較小,機組體積和機組噪聲、振動也較小,送回風管也比較短小。新風機組 (MAU)設在空調(diào)機房內(nèi)...
發(fā)布時間:
2025
-
12
-
13
瀏覽次數(shù)：16
隨著半導體制造工藝進入納米尺度，潔凈技術已從輔助支撐環(huán)節(jié)轉(zhuǎn)變?yōu)橹苯佑绊懏a(chǎn)品良率與性能的核心要素。業(yè)界對潔凈環(huán)境的需求正從傳統(tǒng)的顆粒物控制向分子級污染控制、智能化運維、綠色節(jié)能等方向全面升級。一、 精度躍升：從微米到分子級的污染控制半導體制造對潔凈度的要求已從微?？刂蒲由斓椒肿蛹壩廴镜娜婀芸亍ｋS著半導體晶圓不斷微小化，制程產(chǎn)品對微量污染物的耐受閾值愈發(fā)嚴苛，AMC管控已從可選優(yōu)化項轉(zhuǎn)變?yōu)楹诵膭傂桧棥Ｎ廴究刂凭壬墸涸诠饪?、半導體制造等對環(huán)境敏感度極高的領域，即使微量AMC也可能直接影響產(chǎn)品良率與制程穩(wěn)定性。先進制程產(chǎn)線對潔凈室空氣潔凈度標準持續(xù)提升，EUV光刻工藝更是需要超凈環(huán)境。氣態(tài)分子污染物防控：化學過濾器在半導體潔凈室新風凈化中的應用日益普及，高效PTFE復合濾材及其過濾器生命周期的性能優(yōu)化成為關注焦點。分子級污染控制已成為剛需，化學過濾器需求大幅增長。納米級清洗技術：無化學清洗技術逐漸成熟，如帶負電奈米氣泡技術能在每毫升純水中釋放大量奈米氣泡，有效去除晶圓、制程設備上的微粒與化學殘留，全程不需使用任何化學藥劑。這種技術特別適用于先進封裝、EUV光罩處理、CMP后清洗等高精密應用領域。二、智能運維：數(shù)字孿生與AI驅(qū)動的潔凈環(huán)境控制潔凈室的運營模式正經(jīng)歷從功能性指令到指標性指令的范式革命，基于數(shù)字孿生和人工智能的智能化解決方案成為新需求。數(shù)字孿生系統(tǒng)應用：通過實時氣流組織計算...
發(fā)布時間:
2025
-
12
-
12
瀏覽次數(shù)：13
一、潔凈手術部電氣設計要點與標準規(guī)范1、負荷分級與供電電源潔凈手術部的電氣負荷分級根據(jù)其重要性和中斷供電可能造成的后果劃分為不同等級。其供電系統(tǒng)必須具有極高的可靠性和冗余性。在供電電源方面，規(guī)范明確要求潔凈手術部應采用獨立雙路電源供電，并配置應急柴油發(fā)電機組作為備用電源。當市電停電或故障時，應急電源應能迅速切換并供電，以滿足醫(yī)療設備的持續(xù)運行需求。2、醫(yī)療場所分類與供電要求醫(yī)療場所根據(jù)電擊風險和設備接觸程度進行分類，不同類別的場所有不同的電氣安全要求。潔凈手術室屬于2類醫(yī)療場所，是風險等級最高的醫(yī)療場所之一。這類場所的重點強調(diào)兩個方面：一是微電擊防護，因為通過人體心臟的電流如果超過50μA就可能導致心室纖顫而死亡；二是供電可靠性，強調(diào)中斷供電可能帶來的嚴重后果。3、IT系統(tǒng)在手術室中的應用在潔凈手術室內(nèi)，用于維持生命和其他位于“患者區(qū)域”內(nèi)的醫(yī)療電氣設備和系統(tǒng)的供電回路應使用醫(yī)療IT系統(tǒng)（隔離電源系統(tǒng)），這是確保手術室電氣安全的核心措施。IT系統(tǒng)的設計應滿足以下要求：醫(yī)用IT系統(tǒng)裝用的隔離變壓器的電源測和負載側(cè)的回路上，不允許裝設因防過載而切斷重要醫(yī)療設備的電源，但可裝設熔斷器作為短路保護。應設置過負荷及超溫監(jiān)測裝置，以實時監(jiān)測系統(tǒng)的運行狀態(tài)；應設置絕緣監(jiān)視報警裝置，能夠顯示工作狀態(tài)及故障類型，并應設置聲光警報裝置。二、潔凈手術部電氣標準化模塊設計體系構(gòu)建1、總體架構(gòu)設計潔凈手術部...
發(fā)布時間:
2025
-
12
-
11
瀏覽次數(shù)：17
在生物醫(yī)藥產(chǎn)業(yè)中，藥品質(zhì)量直接關系到患者的生命健康，而取樣及檢驗環(huán)節(jié)是保障藥品質(zhì)量的關鍵步驟。合理的取樣及檢驗設計不僅能確保檢驗結(jié)果的準確性和可靠性，還能提高生產(chǎn)效率，降低質(zhì)量風險。一、法規(guī)要求1、2010版GMP明確規(guī)定，質(zhì)量控制實驗室通常應當與生產(chǎn)區(qū)分開。生物檢定、微生物和放射性同位素的實驗室，還應當彼此分開。這是因為生產(chǎn)區(qū)的環(huán)境可能會對檢驗結(jié)果產(chǎn)生干擾，影響藥品質(zhì)量的判斷。而對于實驗涉及的物質(zhì)具有特殊性，相互之間可能會產(chǎn)生交叉污染，影響實驗結(jié)果的準確性。2、EUGMP也有類似規(guī)定，強調(diào)質(zhì)量控制實驗室與生產(chǎn)區(qū)的分離，以及生物檢定、微生物檢定和放射性同位素檢定實驗室的各自分離。這些法規(guī)要求為生物醫(yī)藥廠房取樣及檢驗的設計提供了明確的方向，確保企業(yè)在設計過程中符合相關法規(guī)，避免因違規(guī)而導致的質(zhì)量問題和法律風險。二、設計原則在設計生物醫(yī)藥廠房的取樣及檢驗環(huán)節(jié)時，需要遵循一定的設計原則，以實現(xiàn)效率與質(zhì)量的平衡。1、為減少對潔凈環(huán)境的破壞，原則上能在低級別區(qū)域取樣的，不在高級別區(qū)域設置取樣點。潔凈環(huán)境對于生物醫(yī)藥生產(chǎn)至關重要，任何不必要的污染都可能影響藥品質(zhì)量。因此，在低級別區(qū)域取樣可以減少對高級別潔凈區(qū)域的干擾，降低潔凈環(huán)境維護成本。2、為減少B區(qū)域工作量，原則上盡量不在B級區(qū)域設置潔凈介質(zhì)取樣點。B級區(qū)域通常是生物醫(yī)藥生產(chǎn)中的關鍵區(qū)域，對潔凈度要求較高。減少在B級區(qū)域的取樣操作，可以降...
發(fā)布時間:
2025
-
12
-
10
瀏覽次數(shù)：12
一、電子行業(yè)潔凈室的特點電子行業(yè)潔凈室在氣流組織、潔凈等級和溫濕度控制上都有它顯著的特點：1、氣流分布要求很均勻。潔凈廠房為維持室內(nèi)高潔凈度，必須帶走室內(nèi)所產(chǎn)生的微塵粒子，因此對氣流組織有嚴格的要求。2、溫濕度要求精度高并且恒定。由于電子產(chǎn)品的制造工藝對溫、濕度的變化極為敏感，所以在潔凈室里的工藝區(qū)域，空氣參數(shù)必須嚴格控制在極小的范圍內(nèi)。3、潔凈室內(nèi)新風量大、換氣次數(shù)高。電子行業(yè)的潔凈室內(nèi)有諸如烘箱之類的工藝設備，產(chǎn)熱極大，這些熱量主要依靠工藝冷卻水和工藝熱排風帶走，房間內(nèi)的各種大風量排風意味著需要補充大量經(jīng)熱濕處理過的新風來維持室內(nèi)正壓。同時，為了維持房間高潔凈度就需要較多的換氣次數(shù)來過濾塵埃粒子。4、潔凈室空調(diào)冷負荷大并且濕負荷很小，熱濕比值接近+∞。電子行業(yè)的潔凈室一般都置于建筑物的中部，雖然通過圍護結(jié)構(gòu)的得熱量較小，但潔凈室內(nèi)工藝設備的發(fā)熱量相當大，即全年需要排除室內(nèi)余熱量。二、MAU+FFU+DCC潔凈空調(diào)系統(tǒng)特點MAU+FFU+DCC系統(tǒng)即組合式新風機組（Make-upAir Unit）+ 風機過濾器單元（Fan Filter Unit）+ 干盤管（Dry Cooling Coil）系統(tǒng)。這種空調(diào)方式是將室外新風經(jīng)過新風機組處理后送入潔凈室的回風夾道內(nèi)，干盤管負責處理空氣至所要求的參數(shù)，然后用FFU來循環(huán)空氣從而達到潔凈度要求的換氣量。通常新風機組將新風處理到室內(nèi)露點溫...
發(fā)布時間:
2025
-
12
-
09
瀏覽次數(shù)：25
一、恒溫恒濕空調(diào)概述空調(diào)系統(tǒng)都有一定的調(diào)節(jié)房間的濕度和溫度的性能，但對一般的工藝性空調(diào)或舒適性空調(diào)，調(diào)節(jié)濕度、溫度變化的偏差以及區(qū)域之間的偏差要求并不嚴格。我們通常所說的恒溫恒濕空調(diào)是工藝性空調(diào)的一種，它對區(qū)域偏差以及室內(nèi)濕度、溫度的波動和控制要求比較嚴格。恒溫恒濕空調(diào)系統(tǒng)為四管制，具備用蒸汽加濕的一次回風空調(diào)系統(tǒng)和新風預熱器。其中，加濕器用于對混合風在處理冬季空氣過程中進行夏季工況下的加濕處理和加濕處理。加熱器用于對混合風在夏季工況下進行再熱處理和在冬季模式下進行加熱處理。表冷器用于對混合風在夏季工況下的除濕降溫處理。加熱器用于對新風空氣在處理冬季空氣過程中的預加熱。二、系統(tǒng)對環(huán)境監(jiān)測的高精度恒溫恒濕空調(diào)所在的環(huán)境對溫度和濕度的要求十分嚴格，尤其是在實驗室、醫(yī)院等高精密環(huán)境中。與此同時，由于這類環(huán)境中熱源、水源等分布十分復雜，導致環(huán)境中的溫濕分布并不均衡。因此就需要空調(diào)自動控制系統(tǒng)對環(huán)境的溫濕變化具有較高的敏感度，能夠迅速的感知環(huán)境中的溫濕變化，并極快的做出有效反映，保證環(huán)境中的溫度和濕度?，F(xiàn)在的恒溫恒濕空調(diào)要求一般在溫度精度達±2℃，濕度精度±5%，高精度空調(diào)可以溫度精度達到±0.5℃，濕度精度達到±2%。三、溫濕控制中高效能比在傳統(tǒng)的恒溫恒濕空調(diào)系統(tǒng)設計中，在溫度和濕度的控制上，機組有風冷和水冷型兩種，配備有多級電加熱器和電極加濕罐及微...
發(fā)布時間:
2025
-
12
-
08
瀏覽次數(shù)：11
在醫(yī)藥生產(chǎn)領域，制藥用水作為藥品生產(chǎn)過程中的關鍵原料與工藝輔助介質(zhì)，其質(zhì)量直接決定藥品安全性、有效性與穩(wěn)定性。醫(yī)藥廠房水系統(tǒng)的設計、運行、監(jiān)測與維護，需嚴格遵循法規(guī)標準，構(gòu)建全生命周期的風險防控體系。一、系統(tǒng)設計醫(yī)藥廠房水系統(tǒng)的設計需從設備選型、管路布局到附件配置，均需圍繞降低污染風險展開，為后續(xù)穩(wěn)定運行奠定硬件基礎。在水處理設備及輸送系統(tǒng)設計層面，首要目標是防止微生物滋生。設備材質(zhì)需選用耐腐蝕、不易吸附微生物的食品級或醫(yī)藥級材料，避免因材質(zhì)老化、銹蝕導致的微粒脫落與微生物附著。輸送管路設計需采取針對性措施減少污染隱患：采用適當傾斜的管道布局，確保系統(tǒng)停機后無積水殘留，避免微生物的滋生；嚴格避免盲管設計，盲管內(nèi)水流停滯易導致微生物大量繁殖，若無法完全規(guī)避，需將盲管長度控制在規(guī)定范圍內(nèi)。對于系統(tǒng)中安裝的過濾器，需實施特殊管理。過濾器作為攔截微粒與微生物的關鍵組件，其選型、安裝與維護直接影響過濾效果。應選用符合醫(yī)藥標準的濾芯，且需確保濾芯材質(zhì)不脫落纖維，避免引入新的污染物。同時，過濾器需設置便于拆卸、清洗與更換的結(jié)構(gòu)，為后續(xù)監(jiān)測與維護提供便利，防止因過濾器堵塞、失效導致的污染風險。純化水與注射用水作為醫(yī)藥生產(chǎn)中最常用的兩種制藥用水，其分配系統(tǒng)需重點保障湍流狀態(tài)。湍流能通過較強的水流剪切力，減少微生物在管壁的黏附，防止生物膜形成，對水質(zhì)造成長期污染。注射用水儲罐的通氣口必須安裝疏水性除菌...
發(fā)布時間:
2025
-
12
-
06
瀏覽次數(shù)：19